OPTM 系列显微分光膜厚仪
• 使用显微光谱法在微小区域内通过绝.对反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。
• 可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1秒/点的高速测量,并且搭载了 即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件。
• 头部集成了薄膜厚度测量所需功能
• 通过显微光谱法测量高精度绝.对反射率(多层膜厚度,光学常数)
• 1点1秒高速测量
• 显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)
• 区域传感器的安全机制
• 易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析
• 独立测量头对应各种inline客制化需求
• 支持各种自定义
测量项目:
• 绝.对反射率测量
• 多层膜解析
• 光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)
更多详情咨询:
https://www.chem17.com/st469006/erlist_2217317.html
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